製程研發人員透過樣品實驗,以提供客戶完整設備解決方案。

設備介紹

提供所有wafer form、Die form及panel 的助焊劑清洗方案

Flux clean

可搭配藥水有效剝除各類正負光阻、金屬剝離及殘膠去除,亦可提供藥水客製化開發

PR stripper 、Metal lift 及De-glue

以全新的外行星旋轉方式,達到最佳的蝕刻均勻性

蝕刻

提供環保製程,以純水清洗去除frame的殘膠,省略人工清洗、無塵布及溶劑費用

Frame clean

搭配各式sputter設備,完成Pick&Place、Taping&De-taping及De-Burr動作

P&P

Metal Lift Off

Etcher

Frame Cleaner